Кристаллы особо чистого искусственного кварца типа "Ювелир"

ОДО.027.009 ТУ

Технические условия распространяются на кварц искусственный кристаллический для особо чистого стекла, служащий сырьем для производства прозрачного особо чистого кварцевого стекла, предназначенного для изготовления тиглей, реакторов физико-термических установок в производстве больших интегральных схем, кассет открытого и коробчатого типа, лодочек из кварцевого стекла для диффузионно-термических процессов обработки кремниевых пластин.

Кварц для стекла выпускается двух марок КС-0 и КС-1 в виде бесцветных кристаллов, форма которых определяется затравкой.

Наименование	AI	Ca	Fe	Li	Na	K	Ti	ТМП	тмп	FK	ГЖП
Наименование	ppm	ppm	ppm	ppm	ppm	ppm	ppm	%	%	ppb	%
КС-0	10	2,0	1,5	1,0	4,0	1,0	0,5	-	-	-	-
КС-1	15	3,0	2,0	1,5	6,0	1,5	2,0	-	-	-	0,01
Технологический уровень кристаллов	4	1,5	0,8	0,8	2,0	0,5	0,4	-	-	-	0,01

Кварцевые тигли

Кварцевые тигли

Особо чистый кварц для полупроводниковой промышленности типа Y-bar

Кристаллы особо чистого кварца типа Y-bar используются в производстве тиглей из кварцевого стекла диаметром 356 и 406 мм для выращивания монокристаллического кремния методом Чохральского.

ОЧК ИКК

Доля примеси, х10^-6
Наименование	AI	Ca	Fe	Li	Na	K	Ti	ТМП	тмп	FK	ГЖП
Наименование	ppm	ppm	ppm	ppm	ppm	ppm	ppm	%	%	ppb	%
ОСЧ ИКК	<2	<0,2	<0,2	<0,2	<0,1	0,1	<0,2	нет	нет	нет	<0,01
Технологический уровень в кристаллах	<2	0,2	0,2	0,07	<0,1	0,4	<0,4	-	-	-	-
Технологический уровень качества в грануляте без хлора	2,3	0,2	0,7	0,6	0,5	<0,2	0,4	-	-	-	-
Технологический уровень качества в грануляте с очисткой в хлоре	<2,0	<0,1	<0,2	<0,3	<0,1	<0,1	<0,1	-	-	-	-

Оснастка для диффузионно-термических процессов обработки кремниевых пластин

Оснастка для диффузионно-термических процессов обработки кремниевых пластин.

Формат PDF (146 КВ)
Версия для печати